分光干涉式激光位移计

产品阵容

SI-T 系列 - 分光干涉位移型多层膜厚测量仪

保证 多层高层膜厚, 主要包括近红外光・未不良影响, 实时公交线上測量,五秒1000次的取样頻率,为当下膜厚測量仪的带来了新的可能会性。

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SI-F 系列 - 微型传感头型分光干涉式 激光位移计

行业超小小型感知器头，很高导致精度，解決了内部自带光电子器件感知次的起热的问题，也并不受涡流的噪音干扰。

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SI-F80R 系列 - 分光干涉式晶片厚度计

所采用近红外 SLD，哪怕已贴附 BG 带也可预估晶片自身的壁厚。哪怕晶片外观来源于因为花纹而存在的同质性性别差异，也可保持准确无误的分娩线上游戏预估。

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