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即使是纳米级的微小形状变化也能准确测量。 此外,如镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。
最大扫描区域50 mm见方。 凹凸不平或手掌大小的物体也能整体扫描。只需1台仪器,必须时候了解整体结构图行和边缘图行。
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